PSH15AW 二维扫描头是一款面向高功率激光加工场景设计的扫描解决方案，重点满足对扫描精度、动态响应及长期稳定性有严苛要求的应用需求。
适配性强：兼容多种激光加工系统
精度与速度：高精度定位，高速扫描
低温漂：温控性能好，温度变化下光路偏移量小
高可靠性：长期运行稳定可靠
应用领域
PSH15AW 二维扫描头可适配多行业高功率激光加工需求，广泛用于半导体材料加工、多头拼接加工、微结构加工、钻孔，同时覆盖高速激光清洗、熔覆、飞行加工、划线、切割等工艺，也可满足太阳能行业各类激光加工场景使用。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.激光入口 2.电气接口 （XY2-100，电源输入） 3.水冷入口 4.水冷出口 5.激光出口 |
| PSH15AW 二维扫描头 | |
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| 入光板和安装板 | 出光板 |
规格参数
PSH15AW | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 2500 W |
冷却方式 | 水冷 |
入光孔径 | 15 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.19 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.4 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜30 m/s |
直线扫描(3) | ＜30 m/s |
矢量扫描(4) | ＜3 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 650 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移（500W激光功率下） | |
零点漂移 | 20μrad/℃ |
比例漂移 | 20μrad/℃ |
长期漂移(30min预热)(6) | |
超8小时长期零点漂移 | 25μrad |
超8小时长期比例漂移 | 60μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 118mm×165mm×145mm |
注：
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2)所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。
(6) 长时间温漂的测试要求在在25℃左右的恒温环境度下，激光功率必须＜500W，不能用高激光功率进行温漂的测试，因为在 高激光功率的作用下，光学系统和机械系统都会发生热变形，从而无法判断漂移是因为振镜自身漂移还是源于光学系统形变和机械形变引起的。