激光划片是指聚焦后的激光束沿加工件特定位置进行单次或多次往返切割，聚焦后的激光束焦斑较小、能量密度较高，不断对工件进行气化形成极细的切缝。

激光划片机三个重要指标：划线速度，往返划线重合度和焦斑质量。

加工效率受划线速度和往返划线重合度的综合影响，其中往返划线重合度对多次往返划线的工艺稳定性尤为重要。焦斑质量对切缝品质有直接影响，良好的焦斑质量有助于减小崩边和热影响区，从而提升切缝质量。

PSI针对这三个指标，推出PSH14和PSH20两个系列的激光划片专用振镜。