振镜作为激光调阻机重要的核心部件之一,其精度、温漂、线性度直接影响调阻机的性能,尤其在薄膜调阻、小尺寸厚膜调阻、高精度调阻方面对振镜的要求越来越高,PSI作为主要的调阻机振镜供应商,专门开发两个系列的调阻机振镜(RT、A-RT)对应不同的调阻需求。


PSI的优势:

RT系列高速振镜

直线度≤±1.5um,线间距精度≤±1.5um,线性度≥99.9%,长时间温漂≤35urad

该系列产品在保证以上指标的前提下速度处于行业优质水准。

A-RT系列高精度振镜

直线度≤±0.5um,线间距精度≤±1um,线性度≥99.9%,长时温漂≤35urad

该系列产品在振镜行业中拥有优异的精度指标,PSI 是目前业界少数具备该精度等级振镜批量生产能力的厂商之一。

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