PSH30AW是一款面向激光加工的高性能扫描振镜，适用于高精度、高动态响应场景。优化结构与控制算法可实现高精度光束定位与高速扫描，并具备低温漂与长期稳定性，支持多种复杂加工工艺。
高精度：光束定位与轨迹控制达微米级精度
高速度：高速扫描，提升加工效率
低温度漂移：低温漂，减少热效应影响
长期稳定性：长时间运行保持重复精度，支持批量、长周期生产
应用领域
PSH30AW二维扫描头 可广泛应用于增材制造（3D打印）、高精度切割、高精密焊接、多头拼接加工、半导体材料加工、微结构加工、钻孔、飞行加工、划线等领域。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.电源接口 2.电气接口(PRS422) 3.水冷接口 4.水冷接口 5.激光出口 6.激光入口 |
| PSH30AW 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
规格参数
PSH30AW | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 1000 W |
| 冷却方式 | 水冷 |
入光孔径 | 30 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.36 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.9 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜15 m/s |
直线扫描(3) | ＜15 m/s |
矢量扫描(4) | ＜1.5 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 350 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 15μrad/℃ |
比例漂移 | 15μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热)(6) | |
超8小时长期零点漂移 | 25μrad |
超8小时长期比例漂移 | 40μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 152mm×206.9mm×180mm |
注:
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。
(6) 长时间温漂的测试要求在25℃左右的恒温环境度下，激光功率必须＜500W，不能用高激光功率进行温漂的测试，因为在高激光功率的作用下，光学系统和机械系统都会发生热变形，从而无法判断漂移是因为振镜自身漂移还是源于光学系统形变和机械形变。