PSH14ART 用在极高精度要求的激光加工应用当中，它适用于直线弯曲度小于±0.5μm，线间距误差小于±1μm，如高精度的激光调阻等应用。
定位精度高：微米级定位，满足精密加工
直线度高：轨迹平直，边缘清晰
温漂低：热稳定性好，无需频繁校准
应用领域
PSH14ART 二维扫描头可应用于精密加工、激光切割、激光增材制造（3D打印）、高速高精度激光打标、激光调阻、银浆蚀刻、太阳能硅片划片、科研等众多领域。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.激光入口 2.电气接口 （XY2-100，电源接口） 3.激光出口 |
| PSH14ART 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
参数规格
PSH14ART | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 100 W |
入光孔径 | 14 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.4 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤1 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜10 m/s |
直线扫描(3) | ＜10 m/s |
矢量扫描(4) | ＜1.2 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 300 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 15μrad/℃ |
比例漂移 | 15μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热）(5) | |
超8小时长期零点漂移 | 25μrad |
超8小时长期比例漂移 | 40μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 107.5mm×156mm×119.5mm |
注：
(1)对于激光波长在532 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。