PSH20AW专为对扫描要求极高的激光加工应用而设计，可灵活适配多种场景，具备高精度、高速度、低温漂和出色的长期稳定性。
高精度：满足精密加工需求
高速度：高速跳跃与扫描，提升效率
低温漂：长时间工作热漂移小
灵活适配：支持多场景、多接口，快速集成
应用领域
PSH20AW专为对扫描精度要求较高的激光加工应用而设计，广泛适配多种场景，包括高精度切割、多头拼接加工、半导体材料加工、微结构加工、钻孔、熔覆、飞行加工、划线、切割及太阳能行业应用等。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.激光入口 2.电气接口（XY2-100） 3.电源输入 4.水冷入口 5.水冷出口 6.激光出口 |
| PSH20AW 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
规格参数
PSH20AM | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 1000 W |
冷却方式 | 水冷 |
入光孔径 | 20 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.22 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.6 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜25 m/s |
直线扫描(3) | ＜25 m/s |
矢量扫描(4) | ＜2.5 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 500 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 15μrad/℃ |
比例漂移 | 15μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热）(6) | |
超8小时长期零点漂移 | 25μrad |
超8小时长期比例漂移 | 40μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 134mm×205mm×155mm |
注:
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。
(6) 长时间温漂的测试要求在25℃左右的恒温环境度下，激光功率必须＜500W，不能用高激光功率进行温漂的测试，因为在高激光功率的作用下，光学系统和机械系统都会发生热变形，从而无法判断漂移是因为振镜自身漂移还是源于光学系统形变和机械形变。