PSH10AW 二维扫描头专为对扫描精度要求较高的激光加工应用而设计，具备广泛适配性，以及高精度、高速度、低温漂和长期工作可靠性。
结构可靠：体积紧凑、防尘抗干扰，安装便捷
散热优异：优化散热设计，适配高功率激光
应用广泛：支持多种加工工艺
性能出众：温漂小，工作可靠性高
应用领域
PSH10AW 二维扫描头广泛应用于多种激光加工场景，如半导体行业中的材料加工、多头拼接加工、微结构加工、钻孔、高速激光清洗、飞行加工、划线、太阳能行业应用等。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.电气接口 (XY2-100 / 电源输入) 2.激光出口 3.激光入口 |
| PSH10AW 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
规格参数
| PSH10AW | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 300 W |
入光孔径 | 10 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.11 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.26 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜30 m/s |
直线扫描(3) | ＜30 m/s |
矢量扫描(4) | ＜3.5 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 1000 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 15μrad/℃ |
比例漂移 | 15μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热）(5) | |
超8小时长期零点漂移 | 25 μrad |
超8小时长期比例漂移 | 40 μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 115mm×151.5mm×110mm |
注:
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。