PSH14RT 二维扫描头是专为激光调阻应用研发的一款振镜，它适用于直线弯曲度小于±1.5μm，线间距误差小于±1.5μm的调阻应用。
体积小：结构紧凑，安装便捷
重量轻：轻量化设计，降低负载
高速度：响应快速，提升效率
高性价比：性能稳定，成本可控
应用领域
PSH14RT 二维扫描头可应用于精密加工、激光切割、激光增材制造（3D打印）、高速高精度激光打标、激光调阻、银浆蚀刻、太阳能硅片划片、科研等众多领域。
机械图纸
 | 图例： 1.激光入口 2.电气接口 （XY2-100，电源接口） 3.激光出口 |
| PSH14RT 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
参数规格
PSH14RT | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 100 W |
适配波段 | 355nm；532nm；1030-1090nm |
入光孔径 | 14 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.25 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.5ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜12 m/s |
直线扫描(3) | ＜12 m/s |
矢量扫描(4) | ＜2 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 600 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 20μrad/℃ |
比例漂移 | 20μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热）(5) | |
超8小时长期零点漂移 | 40μrad |
超8小时长期比例漂移 | 60μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 107.5mm×156mm×119.5mm |
注:
(1)对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4)复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5)单个字符字高1mm。
(6)长时间温漂的测试要求在25℃左右的恒温环境度下，激光功率必须＜500W，不能用高激光功率进行温漂的测试，因为在高激光功率的作用下，光学系统和机械系统都会发生热变形，从而无法判断漂移是因为振镜自身漂移还是源于光学系统形变和机械形变引起的。
(7)振镜正常工作时，必须设置适配的延时参数，否则会导致振镜电机工作异常，甚至给电机造成不可逆的损坏！相关参数设置问题请联系PSI工程师！
(8)波段支持订制，请咨询PSI工程师！