PSH10AW 二维扫描头专为对扫描精度要求较高的激光加工应用而设计，具备广泛适配性，以及高精度、高速度、低温漂和长期工作可靠性。
结构可靠：体积紧凑、防尘抗干扰，安装便捷
散热优异：优化散热设计，适配高功率激光
应用广泛：支持多种加工工艺
性能出众：温漂小，工作可靠性高
应用领域
PSH10AW 二维扫描头广泛应用于多种激光加工场景，如半导体行业中的材料加工、多头拼接加工、微结构加工、钻孔、高速激光清洗、飞行加工、划线、太阳能行业应用等。
机械图纸（尺寸单位：mm）
 | 图例： 1.电气接口 (XY2-100 / 电源输入) 2.激光出口 3.激光入口 |
| PSH10AW 二维扫描头 | |
 |  |
| 入光板和安装板 | 出光板 |
规格参数
| PSH10AW | 参数 |
最大可承受的平均激光功率(1) | 300 W |
适配波段 | 355nm；532nm；1030-1090nm |
入光孔径 | 10 mm |
典型扫描角度(2) | ± 10° |
跟踪误差 | ≤0.11 ms |
阶跃响应时间(满幅的1%) | ≤0.26 ms |
速度 | |
定位/跳转(3) | ＜30 m/s |
直线扫描(3) | ＜30 m/s |
矢量扫描(4) | ＜3.5 m/s |
每秒钟字符数(3)(5) | 1000 cps |
精度 | |
线性度 | 99.9 % |
重复定位精度 | 2μrad |
温度漂移 | |
零点漂移 | 15μrad/℃ |
比例漂移 | 15μrad/℃ |
长期漂移(30mi预热）(5) | |
超8小时长期零点漂移 | 25 μrad |
超8小时长期比例漂移 | 40 μrad |
工作温度范围 | 25 ℃ ± 10 ℃ |
信号接口 | 模拟:± 10 V 或 ± 5 V |
数字:XY2-100或PRS422 | |
输入电源要求(DC) | ± 15 V @ 5 A Max RMS |
体积 | 115mm×151.5mm×110mm |
注:
(1) 对于激光波长在1030-1090 nm。
(2) 所有角度均为机械角。
(3) 在 F=163mm 场镜下的数值。根据场镜焦距的不同，速度也会对应的改变。
(4) 重复定位精度和温度漂移的数值是在此速度下测量得出。
(5) 单个字符字高1mm。
(6) 长时间温漂的测试要求在25℃左右的恒温环境度下，激光功率必须＜500W，不能用高激光功率进行温漂的测试，因为在高激光功率的作用下，光学系统和机械系统都会发生热变形，从而无法判断漂移是因为振镜自身漂移还是源于光学系统形变和机械形变引起的。
(7) 振镜正常工作时，必须设置适配的延时参数，否则会导致振镜电机工作异常，甚至给电机造成不可逆的损坏！相关参数设置问题请联系PSI工程师！
(8) 适配波段支持订制，请咨询PSI工程师！